誠峰plasma清洗機的刻蝕在pcb線路板生產應用領域

• 分類：業界動態
• 作者：等離子清洗機-CRF plasma等離子設備-等離子表面處理機廠家-誠峰智造
• 來源：低溫等離子設備生產廠家
• 發布時間：2021-11-14
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【概要描述】誠峰plasma清洗機的刻蝕在pcb線路板生產應用領域: ? ? ? ?誠峰plasma清洗機運用純四氟化碳混合氣體或四氟化碳與O2搭配的的方式可對晶圓制造中的氮化硅實現μm級的刻蝕，運用四氟化碳與O2或氫氣搭配的的方式可對μm級的光刻膠實現清除。 ? ? ? ?誠峰plasma清洗機的刻蝕在pcb線路板生產應用領域是挑選早的，不論是硬質的pcb線路板或是柔性電路板在生產過程中都會實現孔外去膠，傳統技術是運用有機化學藥水清潔的的方式，但伴隨pcb線路板領域的發展壯大，PCB板變得越來越小，孔也變得越來越小，有機化學藥水做孔內去膠的難度系數越來越大，且孔越小咬蝕量也很難操縱，還可能會引起有機化學殘留，干擾后段工序。而誠峰plasma清洗機的刻蝕是干式的，并不會有有機化學殘留，同時等離子的擴散挑選強，所形成的刻蝕性氣相等離子能夠對μm級的孔內實現合理有效的刻蝕，咬蝕量還可以根據工序技術參數的調節取得有效的操縱。 四氟化碳運用的注意事項: （1）四氟化碳混合氣體盡管是無毒性不燃氣體，但濃度高時會引起窒息死亡和神經麻痹，因此運用時應注意氣路密封，建議運用防爆管路； （2）plasma清洗機為保證工序穩定，需運用專用型流量控制器； （3）四氟化碳參與反應時會形成氫氟酸，排出的廢氣為有害氣體，需做處理后排放； （4）運用四氟化碳的誠峰plasma清洗機建議配防腐型的干式真空泵。